Resumo
Neste trabalho propõe se projetar e desenvolver um microsensor de pressão piezoresistivo integrado para ser utilizado em transdutores e transmissores de pressão industriais. Para tal finalidade pretendemos utilizar a tecnologia de processamento do silício, a microeletrônica para fabricar e integrar uma estrutura em viga, obtida através da corrosão anisotrópica do silício, com piezoresisto…
